氮气流量:1 - 6000m³/h氮气纯度:95% - 99.9995% (100% - ...
氮气流量:1-6000m³/hr氮气纯度:95%-99.5% (100%-氧含量)常压露点...
氧气流量:1-200m³/h氧气纯度:30%-95%常压露点: ≤-45℃氧气压...
氧气流量:100-3000m³/h氧气纯度:30%-95%常压露点: ≤-45℃...
原料气氧浓度:原料气压力:0.3MPa~0.7MPa残余物指标:氧含量:≤1ppm氢含量≤1000p...
原料气氧浓度:原料氮气压力:0.2MPa~0.7MPa残余物指标:氧含量:≤10ppmCO2含量:≤...
目标值波动范围:达标时间:≤2min电源:220V 50HZ重量:40kg外形尺寸:400×...
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体...